File:LIGA-Doppelumlenksystem.jpg

Description
Deutsch: Mit dem LIGA-Verfahren gefertigte Trenndüse (sog. Doppelumlenksystem)
Date
Source
Deutsch: „Fabrication of Microstructures Using the LIGA Process“; W. Ehrfeld, P. Bley, F. Götz, P. Hagmann, D. Münchmeyer, J. Mohr, O.H. Moser, D. Münchmeyer, W. Schelb, D. Schmidt, E. W. Becker; Micro Robots and Teleoperators Workshop, IEEE (9-11 November 1987)
Author
Deutsch: Forschungszentrum Karlsruhe; de:Benutzer:Captain Bligh als einer der beteiligten Autoren der Publikation
Permission
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